二次电子成像分辨率：1.0 nm(15 kV)  

放大倍数：20倍～80万倍 

加速电压：0.1～30kV（配有减速功能） 

主要附件：Horiba X射线能谱仪， 

微区成分分析范围：Be(4)～U(92)

预约方式：http://caslims.cas.cn